L’Institut autrichien de technologie AIT (Austrian Institue of Technology) a conçu un système de contrôle qualité microscopique 2D et 3D simultané. Baptisé ICI:Microscopy, ce microscope 3D en ligne fournit jusqu’à 60 millions de points 3D par seconde et permet ainsi le balayage rapide de grandes surfaces. Des vitesses de balayage allant jusqu’à 12 mm par seconde peuvent être atteintes avec un balayage latéral de 700 nm/pixel et un bruit de profondeur de 1 µm. Il convient à l’inspection des plus petites structures même à des vitesses de bande élevées et est basé sur la technologie Inline Computational Imaging (ICI) développée à l’AIT. Cette invention combine les méthodes de champ lumineux et de photométrie en utilisant le mouvement de transport naturel de l’objet pour une acquisition simultanée sous différentes directions de visualisation et d’éclairage. Le système peut être utilisé pour une analyse 3D fiable de géométries complexes et de caractéristiques de surface complexes. Les applications potentielles incluent la fabrication électronique et l’inspection des surfaces métalliques.

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